天津微纳制造技术有限公司依托天津大学精密仪器与光电子工程学院以及挂靠其下的精密测试技术与仪器国家重点实验室,公司坐落于天津滨海新区,是精密与超精密制造领域的高新技术企业。经天津市科学技术委员会正式批准天津微纳制造技术有限公司组建天津市微纳制造技术工程中心,并于同年经天津市博士后工作办公室批准成立微纳制造博士后创新基地。
目前公司已经形成下述生产加工能力:
数控单点金刚石超精密加工能力。精度高,稳定性好,极高的分辨力(0.034nm)可保证进行纳米级的机械加工,可用来加工球面、非球面反射镜、大型天体望远镜的反射镜和多面棱镜等各种超精密关键元器件以及自由曲面等面形的透镜、反射镜和注塑模具,模仁经镀镍后加工可达到纳米级加工表面。
脆性材料的加工能力。可对硬脆材料如玻璃、陶瓷,刚玉等进行加工,具有卓越的精度及动态性能(X,Y,Z>1.4G)、表面质量(Ra可达0.2um)和灵活性,可达到传统方法难以满足的工件技术要求。
聚焦离子束加工能力。采用多用途、高性能双束系统,即在同一操作界面可同时实现FIB加工和SEM观察,是纳米加工、2D/3D纳米表征、纳米分析的理想工具,配备完善的气体注入(GIS)系统,具备丰富的分析功能(如3维重构、STEM分析、能谱分析、EBSP分析等),实现全数字化控制和自动操作,可在一套系统上完成纳米加工-纳米原型设计-2D/3D纳米表征-纳米分析。
表面轮廓微纳测量。采用全自动控制,可对包含陡峭边沿的非球面光学镜面及模具实现全自动测量和分析,精度可达75nm,主要应用于表面轮廓、形貌、粗糙度的测量与分析。在非球面光学领域应用广泛,实现了无斜面限制的全自动表面测量。对表面起伏很大的非球面能够实现超高精度的测量。对直径为0.5mm且倾斜角度超过90°的模具或透镜,均可以实现无差错测量。
利用以上生产、加工服务能力,我公司目前的加工服务客户已经由国内拓展到美国、德国等微纳制造技术发达地区,如美国PLS PACIFIC LASER SYSTEMS公司、德国ERLANGEN大学等。