精密检测技术

检测分析是超精密加工工序中必不可少的关键环节，在加工过程中需要有高精度的检测仪器来配合其做出合格的产品。我中心配备了各类国内外先进的检测分析仪器来保证产品的精度，包括非球面表面轮廓测量系统，白光干涉仪，超景深微观显微镜，扫描电子显微镜，激光干涉仪等。

表面轮廓仪

该系统可对包含陡峭边沿的非球面光学镜面及模具进行表面轮廓、形貌、粗糙度的全自动测量和分析。该系统在非球面光学领域应用广泛,实现了无斜面限制的全自动表面测量，对表面起伏很大的非球面能够实现超高精度的测量。该轮廓仪对直径为0.5mm～200mm且倾斜角度超过90°的模具或透镜，均可以实现无差错测量。