标定干涉仪可用于15米以的测量范围,专为高精度测量定位轴的长度、角度和直线度。同时还可以实现水平和垂直轴的直线度以及光学旋转角度的测量。干涉仪使用同步5轴测量系统使这一切成为可能。
测量系统所使用反射镜组是一组空心反射镜和一个可旋转沃拉斯顿棱镜的组合。其他配件还包括用于检测平直度的镜子和用于检测90°偏转的镜子。
· 同步实现超高精度测量三通道长度、俯仰偏摆角度及直线度的测量
· 测量快速、简便、可靠
· 干涉仪测头及反光镜角度可调整
· 干涉仪测头及光束方向便于进行整体调节
· 三个测量通道使用一致的激光频率进行测量
· 可实现高精度的角度测量
· 高精度校准测量轴、机械工具以及坐标测量仪器
· 可作为激光干涉测量的基础标准
· 高精度同步测量长度及角度
· 差动式测量
工作原理: